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工業(yè)超純水設(shè)備工程
時(shí)間:2021.08.28

            

工業(yè)超純水設(shè)備工程:  超純水:既將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除,又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度的水。純度極高的水,電阻率大于18MΩ*cm,或接近18.3MΩ*cm極限值。在集成電路工業(yè)中用于半導(dǎo)體原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制備和硅片氧化用的水汽源等。集成電路的集成度越高,線(xiàn)寬越窄,對(duì)水質(zhì)的要求也越高。

目前我國(guó)電子工業(yè)部把電子級(jí)水質(zhì)技術(shù)分為五個(gè)行業(yè)等級(jí),分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區(qū)分不同水質(zhì)。此外,其他固態(tài)電子器件、厚膜和薄膜電路、印刷電路、真空管等的制作也都要使用超純水。如今超純水已在生物、醫(yī)藥、汽車(chē)等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。

工業(yè)超純水設(shè)備的特點(diǎn):   工業(yè)超純水設(shè)備通常由多介質(zhì)過(guò)濾器,活性碳過(guò)濾器,鈉離子軟化器、精密過(guò)濾器等構(gòu)成預(yù)處理系統(tǒng)、RO反滲透主機(jī)系統(tǒng)、離子交換混床(EDI電除鹽系統(tǒng))系統(tǒng)等構(gòu)成主要設(shè)備系統(tǒng)。原水箱、中間水箱、RO純水水箱、超純水水箱均設(shè)有液位控制系統(tǒng)、高低壓水泵均設(shè)有高低壓壓力保護(hù)裝置、在線(xiàn)水質(zhì)檢測(cè)控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器,真正做到了無(wú)人值守,同時(shí)在工藝選材上采用推薦和客戶(hù)要求相統(tǒng)一的方法,使工業(yè)超純水設(shè)備與其它同類(lèi)產(chǎn)品相比較,具有更高的性?xún)r(jià)比和設(shè)備可靠性。 工業(yè)超純水設(shè)備的工藝流程;  

電子行業(yè)制備超純水的工藝大致分為以下幾種:  

1、采用反滲透水處理設(shè)備與離子交換設(shè)備進(jìn)行組合的方式,其基本工藝流程為:原水→沙炭過(guò)濾器→精密過(guò)濾器→原水箱→反滲透設(shè)備→混床(復(fù)床)→純水箱→純水泵→后置精密過(guò)濾器→用水點(diǎn)  

2、采用離子交換樹(shù)脂制備超純水的傳統(tǒng)水處理方式,其基本工藝流程為:原水→沙炭過(guò)濾器→精密過(guò)濾器→原水箱→陽(yáng)床→陰床→混床(復(fù)床)→純水箱→純水泵→后置精密過(guò)濾器→用水點(diǎn)  

3、采用反滲透水處理設(shè)備與電去離子(EDI)設(shè)備進(jìn)行搭配的的方式,這是一種環(huán)保,經(jīng)濟(jì),發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に嚕浠竟に嚵鞒虨椋涸?amp;rarr;沙炭過(guò)濾器→精密過(guò)濾器→原水箱→反滲透設(shè)備→電去離子(EDI)→純水箱→純水泵→后置精密過(guò)濾器→用水點(diǎn)工業(yè)超純水設(shè)備的應(yīng)用領(lǐng)域;  

1、半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路;  

2、超純材料和超純化學(xué)試劑;  

3、實(shí)驗(yàn)室和中試車(chē)間;  

4、汽車(chē)、家電表面拋光處理;  

5、光電產(chǎn)品;  

6、其他高科技精微產(chǎn)品。


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